Mapper Lithography is failliet verklaard

Mapper Lithography, een chipmachine leverancier uit Delft, is failliet verklaard. Op 28 december is Mapper Lithography B.V. te Delft (Zuid-Holland) failliet verklaard nadat de surseance beëindigd is. Als curator is aangesteld mr. J.J. Wittekamp. Het insolventienummer van deze zaak is F.09/18/436.

Mapper heeft al jaren financiële problemen en deze zijn verergerd toen de overheid kredieten heeft teruggevorderd. Bij het bedrijf werken ongeveer 270 mensen. De curatoren praten met geïnteresseerde partijen die het bedrijf deels of geheel willen overnemen. De grote concurrent van Mapper, chipmachinemaker ASML is ook in gesprek. Mapper werkt aan een machine die chips schrijft door middel van elektronenbundels terwijl ASML werkt met ultraviolet licht.

Mapper Lithography opgericht in 2000, is een toeleverancier voor de halfgeleiderindustrie. Het bedrijf houdt zich bezig met de ontwikkeling en productie van een maskerloze elektronenbundel lithografiemachine (waferstepper). Mapper is gevestigd in Delft, nabij de Technische Universiteit Delft, een van de aandeelhouders.

De traditionele lithografiemachines maken gebruik van fotografische technieken om uiterst kleine elektrische schakelingen, die een oppervlakte van minder dan 1/10000e van een menselijke haar hebben, op een siliciumwafer te etsen. Deze gangbare machines bevatten een masker dat de blauwdruk van de chip bevat, en het patroon daarvan wordt op een lichtgevoelige laag aangebracht (vergelijkbaar met een foto die belicht wordt). Een elektronenbundelmachine schrijft de structuren van de chip rechtstreeks op de wafer op grootten van tussen 10 en 14 nanometer met 13.260 parallelle elektronenbundels.

De werkwijze kan worden vergeleken met de wijze waarop een beeld wordt gevormd door middel van de cathodestraalbuis in oude televisies. In zo’n tv beweegt een elektronenstraal zeer snel over het beeldscherm. Zodra de stralen in contact komen met het scherm, dat is gecoat met lichtgevoelig fluorescerend materiaal, ontstaat het tv-beeld. In de elektronenbundel-machine wordt het beeld alleen niet zichtbaar gemaakt, maar als het ware opgeslagen in een film die gevoelig is voor elektronen. Na de 300mm, 110-bundel machine, die werd getest door TSMC in Taiwan en het onderzoeksinstituut CEA-Leti in Grenoble, wordt nu toegewerkt naar industriële productiestandaarden met een capaciteit van 10 wafers per uur.

De optische elektronenbron genereert 13.260 bundels die op de wafer worden gericht via een reeks elektrostatische lenzen. Iedere bundel heeft zijn eigen optische kolom zodat ze niet door elkaar kunnen lopen. Dit verzekert een hoge doorvoer van meer dan 10 wafers per uur bij een hoge resolutie, kleiner dan 25 nanometer. De 13.260 bundels worden opgewekt door het splitsen van één enkele elektronenbundel uit één elektronenbron. De bundels worden zodanig geordend dat zij een rechthoekige spleet vormen met een wijdte van 26 millimeter, hetzelfde formaat van een veld in een optische stepper. Tijdens het stralen worden de elektronenbundels 2 micrometer gebogen loodrecht op de beweging van de wafertafel. Dit betekent dat met één scan van de wafer een volledig veld van 26mm bij 33mm kan worden bestraald. Tijdens het gelijktijdig scannen van de wafer en de afbuiging van de elektronenbundels worden de bundels aan en uit geschakeld door 13.260 lichtsignalen, een voor iedere bundel. De lichtsignalen worden opgewekt in een datasysteem dat in een bitmapformaat de patronen van de chip bevat.

Russische investering

Op 23 augustus 2012 werd bekend dat de onderneming 80 miljoen euro had opgehaald voor de bouw van een nieuwe fabriek in Rusland en een assemblagefabriek in Delft waarmee vanaf 2014 zo'n 20 machines per jaar moeten worden geproduceerd. De Russische durfinvesteerder RUSNANO investeerde 40 miljoen euro en de overige 40 miljoen euro werd bijeen gebracht door bestaande aandeelhouders zoals ADP Industries, de investeringsmaatschappij van Arthur del Prado, en investeringsmaatschappij Parcom Capital.

Bron: Wikipedia en faillissementsdossier.nl