Russisch-Belarussische alliantie onthult 350nm lithografie machine
Het Russische Zelenograd Nanotechnology Center (ZNTC) en het Wit-Russische Planar hebben na jaren van ontwikkeling hun gezamenlijke 350nm lithografie-machine onthuld. Deze machine, een 200mm wafer stepper met een solid-state laserbron en een veldgrootte van 22mm x 22mm, heeft de inspecties doorstaan en bevindt zich nu in de integratieproeffase, de laatste stap voor massaproductie.
Echter, de resolutie van dit systeem, die doet denken aan i-line steppers uit de jaren '90 met een kwiklamp, staat in schril contrast met de huidige industriestandaard van 5nm en daaronder, bereikt door geavanceerde EUV-technologie van bedrijven zoals ASML zo meldt tomshardware.com.
Ondanks de schaarste aan specifieke technische details, zoals de laser golflengte en het vermogen, heeft ZNTC wel laten doorschemeren dat het om een energiezuinige, nauwkeurige solid-state laser gaat, mogelijk een 365nm Nd:YAG-laser. Dit is een afwijking van de gas excimer lasers (KrF op 248nm, ArF op 193nm) die ASML gebruikt voor sub-350nm nodes.
De diepte van de focus van de machine wordt door experts gezien als symbolisch en verouderd, zelfs in vergelijking met binnenlandse Russische foundries zoals Angstrem en Mikron, die met gesmokkelde ASML-apparatuur chips produceren op 90-250nm.
Militaire industrie
De massaproductie van de machine is nog in ontwikkeling, en het is onduidelijk in welke sectoren de machine daadwerkelijk gebruikt zal worden. Mogelijk vindt het zijn niche in de productie van oudere chips voor de automobiel- of militaire industrie.
De machine lijkt echter vooral een testplatform te zijn voor ZNTC's volgende project: een 130nm lithografie-machine die in 2026 verwacht wordt. Dit project is bedoeld om de technologische kloof met de rest van de wereld te verkleinen. Het ambitieuze tijdschema van Rusland, met plannen om 90nm in 2025, 28nm in 2027 en 14nm in 2030 te bereiken, wordt door experts als zeer optimistisch beschouwd.
De recente onthulling roept vragen op over de haalbaarheid van Rusland's plannen om een eigen geavanceerde chipindustrie op te bouwen, gezien de grote achterstand op de wereldwijde technologieleiders.
Dutch IT events
Alle events
